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Microchip fabrication : a practical guide to semiconductor processing [electronic resource] / Peter Van Zant.

Por: Van Zant, Peter.
Tipo de material: TextoTextoSeries McGraw-Hill's AccessEngineering: Editor: New York : McGraw-Hill, [2004]Edición: 5th ed.Descripción: 1 electronic text (xiii, 642 p.) : ill.ISBN: 0071450211; 9780071432412.Tema(s): Semiconductors -- Design and construction | Integrated circuits -- Design and construction | Semiconductor industry | Semiconductors -- Materials | Chemicals | Crystal growth | Semiconductor wafers | Semiconductors -- Defects | Contamination (Technology) | Industrial productivity | Oxidation | Microelectronics | Microlithography | Photolithography | Semiconductor doping | Semiconductor films | Thin films | Surfaces (Technology) | Metallizing | Semiconductor waters -- Design and construction | Electronic packagingGénero/Forma: Electronic books. | Internet resources.Clasificación CDD: 621.3815/2 Recursos en línea: Subscription required Also issued in print and PDF version.
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